随着电子产品的应用越来越广泛，电子设备的需求量就会在不断的增长中，在半导体芯片生产的过程中不但会产生大量的工业污水而且还会产生具有污染性的工业废气，面对工厂产生的这部分工业废气应如何处理，本文了解关于半导体芯片生产工业的废气处理设备。

半导体芯片加工厂的工业废气主要包含了硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气、氨气、硫酸雾等的酸/碱废气以及氮氧化物、二氧化硫、非甲烷总烃等的有机废气，具有挥发性的VOCs以及酸碱废气主要来源于对芯片的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中产生的，这部分的废气浓度小且排放量大。

半导体废气采用的是洗涤塔废气处理设备进行处理的，洗涤塔分为立式和卧式，这两者之间的区别就在于立式废气洗涤塔是气液两相逆流接触，而卧式废气洗涤塔是气液两相交叉流接触。

洗涤塔废气处理设备主要由循环水箱、循环水管路、除雾层、填料层以及塔体组成，设备的工作流程大致为：酸/碱性废气收集→酸/碱式洗涤塔→离心风机→烟囱(达标排放)。

除了采用洗涤塔设备还可以选择采用沸石转轮或者是TO直燃式热氧化焚烧炉。

温馨提示：半导体工业废气需先经过预处理过滤装置进行大颗粒粉尘及杂质的去除才能进入沸石转轮吸附装置或者是TO直燃式热氧化焚烧炉进行后续的处理。